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　　在電子工業領域，潔凈廠房的環境條件對電子產品的質量和性能起著決定性作用。為確保生產環境符合嚴格要求，需要對一系列關鍵項目指標進行檢測。電子工業潔凈廠房檢測項目指標包括哪些？

　　電子工業潔凈廠房檢測項目指標

　　1.空氣潔凈度：

　　這是電子工業潔凈廠房的核心檢測指標。依據國際標準ISO14644-1以及國內GB50073-2013等規范，潔凈度從ISO1至ISO9劃分不同等級，以每立方米空氣中特定粒徑的最大允許粒子數來界定。比如在半導體制造中常見的ISO5級（百級）潔凈室，每立方米空氣中≥0.5μm的粒子數需≤3520個。

　　檢測時，通常使用激光粒子計數器，在靜態（設備未運行、人員未活動）和動態（設備正常運行、人員正常操作）兩種工況下進行測量。按照標準，檢測點數量依據潔凈面積通過公式N=√A（A為潔凈面積，單位㎡）計算，且總數不少于2個點。采樣量保證每點單次采樣至少2L，檢測高度一般距地面0.8-1.2m。對于關鍵工藝區域，如光刻機周邊等，還需加密檢測點位，可能設置3-5個連續監測點。

　　2.風速與風量：

　　對于單向流潔凈室，需著重檢測風速均勻性，要求平均風速維持在0.45±20%m/s。一般在距離高效過濾器0.3m處布置測點，測點間距不大于0.6m，且測點總數不少于5個，通過測量各點風速并求平均值來計算風量。非單向流潔凈室則主要檢測風量以計算換氣次數，例如ISOClass8級潔凈室要求換氣次數≥20次/h。

　　檢測風速可采用熱式風速儀、超聲波風速儀或葉輪式風速計等，風量檢測可使用風量罩法，即通過風量罩捕集從終端過濾器或送風散流器流出的空氣，再根據風量罩出風的風速乘以有效面積得出風量。

　　3.氣流流型：

　　通過煙霧發生器等工具觀測氣流軌跡，查看潔凈室內氣流是否順暢，確保無逆流、渦流現象。在單向流潔凈室中，氣流應保持平行且穩定地流向工作區域；非單向流潔凈室也需保證氣流能夠有效混合并帶走污染物，維持室內潔凈度。

　　4.溫濕度：

　　電子產品生產對溫度和濕度極為敏感。通常情況下，潔凈廠房溫度需控制在18-26℃，相對濕度保持在45%-65%。例如，在芯片制造過程中，濕度控制不當可能導致芯片引腳氧化，影響產品性能；溫度波動過大則可能影響光刻精度。使用高精度溫濕度計在潔凈室內多點布置進行監測，確保溫濕度在規定范圍內穩定運行。

　　5.靜壓差：

　　不同空氣潔凈度等級的潔凈室（區）之間以及潔凈室（區）與非潔凈室（區）之間需保持一定的空氣靜壓差，一般不應小于5Pa；潔凈室（區）與室外大氣的靜壓差不應小于10Pa。利用微壓差計測量各區域之間的壓差，保證氣流從高潔凈度區域流向低潔凈度區域，防止污染物擴散。

　　6.噪聲：

　　過高的噪聲可能干擾操作人員工作，甚至對一些高精密設備產生影響。潔凈廠房內噪聲一般要求≤65dB(A)。運用聲級計在工作區域進行多點測量，取平均值作為噪聲檢測結果。

　　7.照度：

　　為保證操作人員能夠準確進行生產操作，潔凈室內操作面照度需達到300-600lx。采用照度計在工作區域均勻布點測量，確保光線充足且分布均勻。

　　8.過濾器檢漏：

　　潔凈廠房的高效過濾器是保證空氣潔凈度的關鍵設備。采用粒子計數器法或光度計法對高效過濾器進行掃描檢漏。粒子計數器法需在上風側測定大氣塵的微粒數（檢測高效過濾器時，大于或等于0.5μm微粒濃度需≥3.5×10?粒/L；檢測超高效過濾器時，大于或等于0.1μm微粒濃度需≥3.5×10?-3.5×10?粒/L），并在距過濾器表面2-3cm處掃描；光度計法則通過人工發塵（如DOP），當下游體積分數超過上游體積分數(10??)時判定為漏。

　　9.自凈時間：

　　指潔凈室從污染狀態恢復到正常潔凈狀態所需的時間。在模擬一定污染條件下，通過檢測潔凈室內空氣潔凈度隨時間的恢復情況來確定自凈時間，以評估潔凈室空氣凈化系統的能力。