FH413A05 MEMS三軸加速度傳感器說明書
一、簡介
FH413A05 MEMS三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號限制電路。設計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅固性，并具自檢測（Self-Test）等功能，可實現自檢測。
本產品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統(tǒng)中。
二、原理
FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結構。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結構，并提供一個克 服加速度感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊相連的板形成的差動電容器機構來測量比例于加速度的多硅結 構的偏轉，從而產生電壓輸出信號。
三、技術條件
性能 | FH413A性能 |
Ax ，Ay ，Az |
測量范圍（ g） | ±2 | ±4 | ±5 | ± 10 | ±20 | ±40 |
靈敏度（mV/g） | 1000±50 | 500±50 | 400±30 | 200±20 | 100±10 | 50±5 |
帶寬（10%，Hz） | 0～500 |
零 g 偏置電壓（V） | 2.5±0.05 |
滿量程輸出（V） | 0.5-4.5 |
零偏溫度變化（mg/ °C） | ±0.2~ ±0.8 |
交叉軸影響（%） | ≤2 |
非線性度(％F.S) | ≤0.1 |
噪聲密度（ug/ √Hz） | 20~80 |
供電要求 |
供電電壓(VDC) | 12±0.5 |
輸入電流（mA） | ≤20 |
工作環(huán)境 |
使用溫度（。C） | -45～+85 |
抗沖擊（ g） | 5000 |
重量、體積 |
重量(g) | ≤20 |
體積（mm3 ) | 21.6×21.6×12.4 |
四、接線端子定義
引線號 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 |
顏色 | 紅 | 黑 | 藍 | 黃 | 白 | 屏蔽 |
定義 | 12v | GND | Ax | Ay | Az | 殼體地 |
