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SAL3000HV系列晶圓校準(zhǔn)器

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更新時間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：2630次

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

SAL3000HV系列晶圓校準(zhǔn)器適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動調(diào)整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準(zhǔn)功能。

詳細(xì)介紹

SAL3000HV系列晶圓校準(zhǔn)器適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動調(diào)整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準(zhǔn)功能。

使用了新技術(shù)的可用于多種材質(zhì)晶圓的新產(chǎn)品

SAL3000HV系列晶圓校準(zhǔn)器

應(yīng)用設(shè)備實例

PE-CVD設(shè)備；AOI設(shè)備

規(guī)格

被搬運物	SEMI規(guī)格晶圓(透明, 半透明, 硅片晶圓) (其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀，材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設(shè)計) 2, 3寸, 100-150 mm (SAL3262HV) 100-200 mm (SAL3482HV) 200-300 mm (SAL38C3HV)
位置精度	晶圓中心：±0.1 mm以內(nèi) 晶圓缺邊（缺口）：±0.1度以內(nèi)
位置確定所需時間	3秒（不包括晶圓的取放時間）
傳感器	LED燈照明+圖像識別傳感器的方式對晶圓邊緣進(jìn)行檢測
位置校正范圍	半徑4mm以內(nèi)
晶圓吸附方式	真空吸附式
潔凈度	ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2(驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下)
質(zhì)量	大約10 kg
廠務(wù)	電源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上