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PCB 光刻膠、顯示面板光刻膠、半導(dǎo)體光刻膠及其他光刻膠
光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑,是一種對(duì)光敏感的混合液體。其組成部分包括:光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹(shù)脂、單體、溶劑和其他助劑。光刻膠可以通過(guò)光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩(掩模版)轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場(chǎng)景,這里的待加工基片可以是集成電路材料,顯示面板材料或者印刷電路板。
光刻膠按應(yīng)用領(lǐng)域分類(lèi),可分為 PCB 光刻膠、顯示面板光刻膠、半導(dǎo)體光刻膠及其他光刻膠。市場(chǎng)上不同種類(lèi)光刻膠的市場(chǎng)結(jié)構(gòu)較為均衡,具體占比可以如下圖所示。
目前,本土光刻膠以PCB用光刻膠為主,平板顯示、半導(dǎo)體用光刻膠供應(yīng)量占比。本土光刻膠企業(yè)生產(chǎn)結(jié)構(gòu)可以如圖所示。
本土光刻膠企業(yè)生產(chǎn)結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品供應(yīng);
產(chǎn)品 | 型號(hào) | 光源 | 類(lèi)型 | 分辨率 | 厚度(um) | 適用范圍 |
厚膠 Thick Resist | SU-8 GM10xx系列 | g/h/i-Line | 負(fù)性 | 0.1um | 0.1-200 | 具有大的高寬比,透明度高,垂直度。 |
SU-8 Microchem | g/h/i-Line | 負(fù)性 | 0.5um | 0.5-650 | 具有大的高寬比,透明度高,垂直度。 | |
SPR220 | g/h/i-Line | 正性 | 1um | 1—30 | 可用于選擇性電鍍電鍍,深硅刻蝕等工藝。 | |
NR26-25000P | g/h/i-Line | 負(fù)性 | 20-130 | 厚度大,相對(duì)容易去膠。 | ||
電子束光刻膠 | 型號(hào) | 光源 | 類(lèi)型 | 分辨率 | 厚度(um) | 適用范圍 |
SU-8 GM1010 | 電子束 | 負(fù)性 | 100nm | 0.1-0.2 | 可用于做高寬比較大的納米結(jié)構(gòu)。 | |
HSQ | 電子束 | 負(fù)性 | 6nm | 30nm~180nm | 分辨率好的光刻膠,抗刻蝕。 | |
XR-1541-002/004/006 | ||||||
HSQ Fox-15/16 | 電子束 | 負(fù)性 | 100nm | 350nm~810nm | 分辨率好的光刻膠,抗刻蝕。 | |
PMMA(國(guó)產(chǎn)) | 電子束 | 正性 | \ | \ | 高分辨率,適用于電子束光刻工藝,常用的電子束光刻正膠。 | |
PMMA() | 電子束 | 正性 | \ | \ | MicroChem,分子量,適用于電子束光刻工藝,常用的電子束光刻正膠。 | |
薄膠 | 型號(hào) | 光源 | 類(lèi)型 | 分辨率 | 厚度(um) | 適用范圍 |
S18xx系列 | g-Line | 正性 | 0.5um | 0.4-3.5 | 常用的薄光刻膠,分辨率高,穩(wěn)定。 | |
SPR955系列 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.7-1.6 | 高分辨率(0.35um)光刻膠,穩(wěn)定。 | |
BCI-3511 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.5-2 | 國(guó)產(chǎn)0.35um光刻膠,已經(jīng)在量產(chǎn)單位規(guī)模使用。 | |
NRD6015 | 248nm | 負(fù)性 | 0.2um | 0.7-1.3 | 國(guó)產(chǎn)深紫外光刻膠,已經(jīng)在量產(chǎn)單位規(guī)模使用。 | |
Lift off光刻膠 | 型號(hào) | 光源 | 類(lèi)型 | 分辨率 | 厚度(μm) | 適用范圍 |
KXN5735-LO | g/h/i-Line | 負(fù)性 | 4μm | 2.2-5.2 | 負(fù)性光刻膠;倒角65-80°,使用普通正膠顯影液顯影。 | |
LOL2000/3000 | g/h/i-Line | / | NA | 130nm-300nm | 非感光性樹(shù)脂,可以被顯影液溶解,作為lift off雙層膠工藝中底層膠使用。 | |
ROL-7133 | g/h/i-Line | / | 4um | 2.8-4 | 負(fù)性光刻膠,倒角75~80°,使用普通正膠顯影液。 | |
光刻膠配套試劑 | 品名 | 主要成分 | 包裝 | 應(yīng)用 | / | / |
正膠顯影液 | TMAH 2.38% | 4LR/PC | 正膠顯影液 | / | / | |
正膠稀釋劑 | PGMEA | 4LR/PC | 稀釋劑 | / | / | |
SU8 顯影液 | PGMEA | 4L/PC | 顯影SU8光刻膠 | / | / | |
RD-HMDS | HMDS | 500ml/PC | 增粘劑 | / | / | |
OMNICOAT | 見(jiàn)MSDS | 500ml/PC | SU-8增粘劑 | / | / |
產(chǎn)品名稱(chēng) cas
1-丙烯酸金剛烷酯 121601-93-2
1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8
丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3
4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2
1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯 216581-76-9
2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 249562-06-9
2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯 303186-14-3
1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9
2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環(huán)戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7
甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ 34759-34-7
2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯 297156-50-4
2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 251564-67-7
gamma-丁內(nèi)酯-3-基異丁烯酸酯 130224-95-2
N-異丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6
(9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1
(5-氧代四氫-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9
1-乙基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1
1-異丙基-1-環(huán)己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4
2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯 31480-93-0
n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5
2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5
甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9
2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1
2-乙烯基萘 827-54-3
2-環(huán)己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8
2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯 195000-66-9
丙烯酸甲基環(huán)戊酯 178889-49-1
丙烯酸1-乙基環(huán)戊酯 326925-69-3
2-氧代四氫-呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2
4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9
4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0
甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3
3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7
acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0
1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0
1-甲基環(huán)己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8
2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7
2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8
1-甲基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7
1-乙基環(huán)己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8
4-異丙基苯酚 4286-23-1
(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5
乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1
2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2
1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6
甲基丙烯酸四氫-呋喃-2-基酯 15895-80-4
oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0
6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7
3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1
2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8
2,3-二羥基丙烯酸丙酯 10095-20-2
2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環(huán)氧乙烷 2653-39-6
3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3
2-(2,2-二氟乙烯基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷 123455-94-7
二苯基酰氯 1483-72-3
雙[4-(1,1-二甲基乙基)苯基]鎓與三氟甲磺酸的鹽 84563-54-2
全氟丁基磺酸三苯基锍鹽 144317-44-2
雙(4-叔丁基苯基)氯化鎓 5421-53-4
TBPDPS-PFBS 258872-05-8
1二(4-叔丁基苯基)鎓全氟代丁烷磺酸鹽 194999-85-4
(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0
N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 85342-62-7
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