顯微干涉測厚儀
增加了可視化模塊的干涉測厚儀，對于測量微小器件可實(shí)現(xiàn)顯微觀測光斑所在位置。Z軸動(dòng)態(tài)測量范圍 5-10mm（對距離無苛刻要求，在此范圍波動(dòng)均可測量）
超大工作距離，超大動(dòng)態(tài)范圍，適合在線測量，不受抖動(dòng)影響
操作方便，無需復(fù)雜校準(zhǔn)
快速測量，是傳統(tǒng)型號100倍速度
以太網(wǎng)通訊，更加穩(wěn)定快速
主要應(yīng)用領(lǐng)域：
PCB板涂層，半導(dǎo)體（硅，單晶硅，多晶硅）、半導(dǎo)體化合物、微電子機(jī)械（MEMS）、氧化物/氮化物、光刻膠、硬涂層、聚合物涂層、高分子聚合物 …
技術(shù)參數(shù) 量程（可測量厚度范圍）
0.5-50μm 工作距離 7-70mm（根據(jù)光斑不同） Z軸動(dòng)態(tài)測量范圍 5-10mm(對距離無苛刻要求，此范圍內(nèi)波動(dòng)均可測量） 角度特性 ±5° 光斑尺寸 1-0.1mm（可定制大?。?/td> 精度 10nm 分辨率 1μm 測量速度 2000次/秒
思顯光電技術(shù)（上海）有限公司是一家專業(yè)光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)商，掌握的光譜共焦測量技術(shù)，致力于工業(yè)自動(dòng)化測量行業(yè)，為客戶提供具有競爭力的產(chǎn)品和專業(yè)的解決方案。公司在英國、法國、中國等地設(shè)有研發(fā)機(jī)構(gòu)，根據(jù)自動(dòng)化行業(yè)的發(fā)展和客戶的需求，不斷創(chuàng)造研發(fā)新產(chǎn)品和新應(yīng)用。公司擁有十余年的自動(dòng)化行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，對生產(chǎn)現(xiàn)場有著深刻的理解，為客戶提供專業(yè)負(fù)責(zé)的應(yīng)用提案和技術(shù)支持。公司每一個(gè)應(yīng)用的銷售之前，都要求給客戶做實(shí)際的測試評估，以保證客戶準(zhǔn)確的設(shè)計(jì)方案和選型。
光譜共焦二維輪廊測量儀 產(chǎn)品信息
