微反裝置在線(xiàn)配氣裝置系統(tǒng)產(chǎn)品概述
MFC-08在線(xiàn)配氣系統(tǒng)，應(yīng)用高精度質(zhì)量流量計(jì)對(duì)氣體流量進(jìn)行控制，通過(guò)高性能氣體混合罐實(shí)現(xiàn)氣體均勻混合，通過(guò)軟件可針對(duì)每路氣體的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)和控制，并可進(jìn)行配氣應(yīng)用方案設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)不同時(shí)間段配氣濃度的自動(dòng)調(diào)節(jié)。具備配氣精度高、應(yīng)用靈活、智能化等多個(gè)特點(diǎn)
微反裝置在線(xiàn)配氣裝置系統(tǒng)產(chǎn)品功能
1、1-8組氣體的流量輸出控制
2、2-8組氣體的在線(xiàn)均勻混合
3、配氣方案智能控制，可對(duì)各組氣體流量進(jìn)行程序控制，可使各組氣體流量根據(jù)預(yù)設(shè)程序進(jìn)行調(diào)控
4、多種配氣方式可選
5、可外接各類(lèi)儀器、反應(yīng)器等
6、混合、獨(dú)立等多種氣路外接方式
7、氣體預(yù)熱功能
8、智能氣路清洗功能
9、多種氣體應(yīng)用可選

 
微反裝置在線(xiàn)配氣裝置系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
1、混氣裝置：采用異形氣體混合倉(cāng)與氣體擾流板技術(shù)
2、控制系統(tǒng)：全自動(dòng)控制，并可對(duì)配氣方案進(jìn)行程序控制，實(shí)現(xiàn)流量、使用氣體、使用時(shí)間的隨意編程
3、氣路系統(tǒng)：使用316L不銹鋼管路及卡套式連接方式，使系統(tǒng)耐腐蝕、氣密性好
4、氣路控制系統(tǒng)：使用日本SMC電磁閥，并為每個(gè)氣路設(shè)置單向閥，已防止氣體逆行，所有電磁閥均由軟件控制
5、配氣方案：可根據(jù)求，實(shí)現(xiàn)對(duì)每組氣體的流量進(jìn)行編程調(diào)整，即流量的多段控制
6、應(yīng)用氣體：氨氣、氮?dú)狻⒈?、乙炔、丙炔、二氧化硫、二氧化碳、二氧化氮、甲烷、氪氣、、氧氣、氫氣、氧化氮、氧化碳?br>7、流量控制：0-200毫升/分鐘、100-500毫升/分鐘、500—1000毫升 /分鐘可選
8、工作壓差：（0.1 ~ 0.5）  MPa
9、工作耐壓：3  MPa
10、重復(fù)精度：±0.2  %
11、工作精度：±1  %
12、工作溫度：5 ℃ ~ 45 ℃