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殘余氣體分析儀

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更新時間：2016-08-30 02:54:08瀏覽次數(shù)：195次

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北京市卓川電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

儀器介紹
LC系列有出色的性能價格比,非常適用于過程壓力低于10exp-4Torr的檢漏和殘余氣體分析;使用開放式離子源,質(zhì)量數(shù)測量范圍1-100AMU或1-200AMU,數(shù)據(jù)有多種顯示模式:質(zhì)譜圖,棒狀圖（省略分辨率信息）,趨勢圖（信號隨時間的變化）,檢漏模式,列表模式,指針模式等;

詳細(xì)介紹

	殘余氣體分析儀
型號	XL.43-LC

簡介	技術(shù)參數(shù) 質(zhì)量數(shù)測量范圍:1-100AMU/1-200AMU 樣品壓力范圍:10exp-4Torr至高真空 zui小可檢分壓：5exp-12Torr;如使用電子倍增器,zui小可檢分壓降至5exp-14Torr 分辨率:0.5AMU（10%峰高）燈絲發(fā)射電流:0.1-10mA;除氣時50mA 電子能量:30-150V,除氣時200V 離子能量:1-10V 靈敏度:2exp-4A/Torr（法拉第筒）;測量條件是氮氣的分子離子峰,0.5AMU峰寬（10%峰高）,1mA發(fā)射電流穩(wěn)定性:質(zhì)量數(shù) ±0.1AMU（30分鐘預(yù)熱）峰高 ±2%（30分鐘預(yù)熱）主要特點性能出色,價格很有競爭力,非常適用于半導(dǎo)體和薄膜沉積過程中的檢漏和殘余氣體分析軟件支持多種數(shù)據(jù)顯示方式四極桿參數(shù)可自動優(yōu)化內(nèi)置譜圖,幫助確認(rèn)組分儀器介紹 LC系列有出色的性能價格比,非常適用于過程壓力低于10exp-4Torr的檢漏和殘余氣體分析;使用開放式離子源,質(zhì)量數(shù)測量范圍1-100AMU或1-200AMU,數(shù)據(jù)有多種顯示模式:質(zhì)譜圖,棒狀圖（省略分辨率信息）,趨勢圖（信號隨時間的變化）,檢漏模式,列表模式,指針模式等;用戶可對上述顯示方式進(jìn)行任意組合并保存,方便使用;軟件還自動生成日志文件,記錄燈絲狀態(tài),報警事件等,儀器開/關(guān),方便管理分析方法此儀器尚未上傳分析方法

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