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INFICON PEG100潘寧真空計(jì)(中真空至超高真空)

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PEG100.pdfPEG100潘寧真空計(jì)(中真空至超高真空)INFICON潘寧真空計(jì)PEG100可以提供可靠的高真空測(cè)量

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PEG100潘寧真空計(jì)(中真空至超高真空)

INFICON 潘寧真空計(jì) PEG100 可以提供可靠的高真空測(cè)量。堅(jiān)固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會(huì)出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象。由于采用鈦陰極板且等離子點(diǎn)火后高電壓將會(huì)降低,潘寧真空計(jì)還可在濺射應(yīng)用環(huán)境下運(yùn)行?,F(xiàn)場(chǎng)總線選件以及對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議,將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中。

這種潘寧真空計(jì) PEG100 系列可直接替代 PTR 225 / PTR 225 S PTR 237 PTR 225 PB / PTR 237 D 系列潘寧發(fā)射器:

1.png

好處

  • 直接替代 PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D 真空變送器

  • 測(cè)量范圍廣,從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)

  • 全金屬冷陰極傳感器(潘寧),帶陶瓷饋入裝置

  • 創(chuàng)新的電極幾何形狀提供zhuo yue的點(diǎn)火屬性

  • 等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險(xiǎn),即使在有氬氣的濺射運(yùn)行中

  • 陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換

  • 最小化真空計(jì)附近的磁場(chǎng)強(qiáng)度

  • 用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器

  • 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)

  • 現(xiàn)場(chǎng)總線接口(Profibus DP、DeviceNet)允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中

新聞

  • PEG100、PEG100-S 和 PEG100-D 系列可直接替代 PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 237 D 真空變送器

典型應(yīng)用

  • 高真空壓力監(jiān)控

  • 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)

  • 高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

PEG100配件圖.png



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