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FMS AccuSizer 780 OL-AD 在線自動(dòng)稀釋顆粒計(jì)數(shù)器

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產(chǎn)品型號(hào)FMS AccuSizer 780 OL-AD

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

儀器型號(hào):FMSAccuSizer780OL-AD工作原理:?jiǎn)晤w粒光學(xué)傳感技術(shù)(SingleParticleOpticalSizing

詳細(xì)介紹

  • product-process-monitoring-systems-0319-1.jpg

    儀器型號(hào):FMS AccuSizer 780 OL-AD

    工作原理:單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing,SPOS)

    檢測(cè)范圍: 0.5 μm – 400 μm / 0.15μm - 20 μm


    FMS AccuSizer 780 OL-AD 在線顆粒計(jì)數(shù)器使用基于光阻法的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS)原理,對(duì)檢測(cè)樣本不僅僅可以給出粒度分布(PSD),更可以獲得顆粒數(shù)量(COUNT)。在線設(shè)備可以提供更加快捷、有效的實(shí)時(shí)監(jiān)控,但對(duì)于高濃度的樣本往往超出常規(guī)傳感器的檢測(cè)限。新型FMS AccuSizer 780 OL-AD(Online-Auto Dilution)在線顆粒計(jì)數(shù)器在AccuSizer 780 APS的基礎(chǔ)上進(jìn)行改良升級(jí),利用的自動(dòng)稀釋系統(tǒng),又增加了自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)。在很多行業(yè)中有20多年的成熟應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),比如CMP制程中的Slurry(研磨液)監(jiān)控。

    醫(yī)藥行業(yè)中液體制劑其粒度分布是影響其產(chǎn)品最重要的因素之一。傳統(tǒng)方法都是取樣進(jìn)行離線監(jiān)測(cè),但是造成的問(wèn)題是一旦產(chǎn)品檢測(cè)質(zhì)量不合格,造成損耗巨大。PSS在線粒度儀可以解決此類(lèi)問(wèn)題,將顆粒檢測(cè)融入在線監(jiān)測(cè)中,只放行合格樣品。

    AccuSizer 780online 中加入了PSS的自動(dòng)稀釋功能,可將用戶生產(chǎn)線上的任一濃度的樣品稀釋為SPOS傳感器的有效檢測(cè)范圍,其得到檢測(cè)結(jié)果可還原至初始濃度的狀態(tài),還能與實(shí)驗(yàn)室的觸動(dòng)額檢測(cè)結(jié)果做比較。780Online為廣大的生產(chǎn)型企業(yè)進(jìn)行膠體懸浮液、分散體在線粒徑檢測(cè)和監(jiān)控的。安裝簡(jiǎn)便、易于操作,不僅提供780APS的所有自動(dòng)檢測(cè)功能,而且擁有自動(dòng)定時(shí)取樣。及時(shí)報(bào)警以及光比供應(yīng)系統(tǒng)等在線功能,確保生產(chǎn)線中分散體系品質(zhì)的穩(wěn)定

    圖片.png

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    技術(shù)優(yōu)勢(shì)

    • 在線數(shù)據(jù)和實(shí)驗(yàn)室型機(jī)臺(tái)數(shù)據(jù)一脈相承;

    • 結(jié)果數(shù)據(jù)可以多種形式和格式呈現(xiàn);

    • 模塊化設(shè)計(jì)便于維護(hù)和升級(jí);

    • 自動(dòng)稀釋模塊;

    • 自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng);





  • 工作原理

    目錄結(jié)構(gòu):

    1.單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)簡(jiǎn)介

    2.傳統(tǒng)光阻法和光散法測(cè)量粒度的原理

    3.PSS的SPOS技術(shù)介紹

    4.的自動(dòng)稀釋原理介紹

    5.在線測(cè)量原理簡(jiǎn)圖

    1、單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)簡(jiǎn)介

    單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing, SPOS)是一種用于測(cè)量溶劑中懸浮粒子的大小和數(shù)量濃度的激光粒度檢測(cè)通用技術(shù)。在SPOS技術(shù)中液體懸浮液中的粒子流經(jīng)傳感器的樣品池時(shí),在激光光源的照射下,被阻擋或者被散射的光會(huì)轉(zhuǎn)變成脈沖電壓信號(hào),脈沖信號(hào)的大小是由粒子的截面面積和物理判定規(guī)則即光散射或者光阻共同決定的。光阻也被稱為不透光度或者光消減。而粒子間的相互阻擋和散射是和粒子的大小和濃度是有關(guān)系的,利用脈沖幅度分析器和校準(zhǔn)曲線便可以得到懸浮粒子的數(shù)量濃度和粒度大小分布。傳統(tǒng)光阻法可以測(cè)得1.5μm以上的粒子和并具有較高的分辨率。

    單顆粒傳感技術(shù)(SPOS)常見(jiàn)粒度儀檢測(cè)技術(shù)在檢測(cè)粒徑分布中的重要不足—粒子數(shù)量的統(tǒng)計(jì)。自AccuSizer 780系列儀器誕生,以往以犧牲精確性和分辨率來(lái)?yè)Q取檢測(cè)速度和易用的歷史一去不復(fù)返!

    粒粒皆清楚,不丟失任何細(xì)節(jié)。


    2.傳統(tǒng)光阻法與光散射法原理

    圖片6.png

    Figure 1 光阻法檢測(cè)示意圖

    圖1為光阻法檢測(cè)原理圖,待測(cè)液體流過(guò)橫截面很小的流通池,流通池兩側(cè)裝有光學(xué)玻璃,激光器的光束通過(guò)透鏡組準(zhǔn)直,光束穿過(guò)流通池并被光電探測(cè)器所接收。若待測(cè)液體中沒(méi)有顆粒,則光電探測(cè)器接收到的光信號(hào)穩(wěn)定不變,輸出的電壓信號(hào)也恒定,將此恒定信號(hào)作為基準(zhǔn)電壓;若液體中有顆粒物質(zhì),顆粒通過(guò)流通池傳感區(qū)域,將會(huì)遮擋激光,光電探測(cè)器接收到的光信號(hào)減小,產(chǎn)生一個(gè)負(fù)的脈沖電信號(hào),如下圖2所示。

    圖片7.png

    Figure 2 光電二極管信號(hào)

    脈沖信號(hào)幅度與基準(zhǔn)電壓信號(hào)有如下關(guān)系:

    圖片11.png (1)

    式(1)中:E為顆粒遮擋引起的脈沖幅度;a為顆粒的有效遮擋面積(等效為球形);A為光電探測(cè)器的有效面積;E0是沒(méi)有顆粒時(shí)的光電探測(cè)器所產(chǎn)生的基準(zhǔn)電壓。因此,脈沖信號(hào)幅度對(duì)應(yīng)顆粒的大小,脈沖信號(hào)個(gè)數(shù)對(duì)應(yīng)顆粒的數(shù)量。


    圖片8.png

    Figure 3 光散射法檢測(cè)原理圖


    圖3為光散射法檢測(cè)原理圖,待測(cè)液體流過(guò)流通池,流通池兩側(cè)裝有光學(xué)玻璃,激光器的光束通過(guò)透鏡組準(zhǔn)直,光束穿過(guò)流通池,照射在光陷進(jìn)上。若待測(cè)液體中沒(méi)有顆粒,則光電探測(cè)器就收不到光信號(hào),若液體中有顆粒,顆粒通過(guò)流通池,與激光光束發(fā)生散射現(xiàn)象。某一個(gè)(或幾個(gè))角度下的散射光通過(guò)透鏡收集匯聚到光電探測(cè)器上,產(chǎn)生正的電信號(hào)脈沖,脈沖信號(hào)的幅度和散射光強(qiáng)成正比。根據(jù)信號(hào)的幅度和個(gè)數(shù)可以對(duì)液體中的微小顆粒進(jìn)行計(jì)數(shù)檢測(cè)。

    當(dāng)光束照射含有懸浮微粒的液體時(shí)光能減弱。根據(jù)文獻(xiàn), 此時(shí)懸浮液中微粒會(huì)對(duì)光產(chǎn)生散射和吸收等作用,因?yàn)檫@些作用導(dǎo)致的光強(qiáng)減弱與微粒的濃度存在線性關(guān)系。在文獻(xiàn)中引用了如下公式,來(lái)描述當(dāng)微粒濃度較小時(shí),透射光強(qiáng)與入射光強(qiáng)之間的關(guān)系:

    1577260612(1).jpg

    它對(duì)應(yīng)于因?yàn)樯⑸浜臀斩鴮?dǎo)致光的衰減總量。有米氏散射的理論,隨著微粒的增大,光強(qiáng)大量集中于前向0度角附近,圖1中我們也可以注意到這一點(diǎn)。(4)式中沒(méi)有考慮到這樣的事實(shí):在光阻法檢測(cè)中,前向0角度附近的散射光仍然能夠被探測(cè)器接收,因此必須考慮對(duì)散射系數(shù)進(jìn)行修正。實(shí)際中(4)式變?yōu)椋?/p>

    1577260670(1).jpg

    3.PSS技術(shù)的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)簡(jiǎn)介

    經(jīng)過(guò)光感區(qū)域的粒子由于大小不同,光強(qiáng)隨之產(chǎn)生相應(yīng)的變化。將探測(cè)器收集的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào),不同的電壓信號(hào)對(duì)應(yīng)不同的粒徑大小,從而得到微粒的粒徑。美國(guó)PSS粒度儀公司(Particle Sizing Systems)的單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing,SPOS)是在傳統(tǒng)光阻法(LE)大顆粒光學(xué)傳感技術(shù)的基礎(chǔ)上加入了激光散射模塊(LS)。在兩個(gè)模塊(LE+LS)同時(shí)運(yùn)行的情況下,檢測(cè)下限由原來(lái)純光阻的1.5μm下探至0.5μm。使得其在大顆粒檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用更加的廣泛。

    SPOS技術(shù)對(duì)粒子的信號(hào)響應(yīng)方式是信號(hào)與特定粒子相對(duì)應(yīng)的。AccuSizer 780系列儀器中的傳感器通過(guò)兩種不同性質(zhì)的物理作用():光消減(light extinction, LE)與光散射(light scattering, LS)對(duì)通過(guò)傳感器的粒子進(jìn)行測(cè)定。光消減技術(shù)檢測(cè)通過(guò)流動(dòng)池的光強(qiáng)變化,擁有檢測(cè)粒子的粒徑范圍廣且與粒子組份無(wú)關(guān)等優(yōu)點(diǎn)。然而,它的靈敏度有限。另一方面,光散射技術(shù)具有相對(duì)窄的動(dòng)態(tài)粒徑范圍 (取決于檢測(cè)器/放大器的飽和值),但能檢測(cè)到小粒徑的粒子,使用大功率激光光源還能檢測(cè)到粒徑更小的粒子。通過(guò)合并光消減和光散射響應(yīng)信號(hào),傳感器可同時(shí)擁有這兩種方法的優(yōu)點(diǎn),因而在不損失單粒子分辨率巨大優(yōu)勢(shì)的前提下?lián)碛邢鄬?duì)較廣的動(dòng)態(tài)粒徑范圍。

    圖片9.png

    圖4 PSS的SPOS原理圖


    4. 的自動(dòng)稀釋原理介紹

    單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(Single Particle Optical Sizing, SPOS)雖然具有的量化粒度分布的優(yōu)點(diǎn),但是相應(yīng)的粒子間的重合效應(yīng)會(huì)造成檢測(cè)結(jié)果不準(zhǔn)。PSS粒度儀使用的自動(dòng)稀釋機(jī)制,可以將樣品稀釋到目標(biāo)濃度,然后再采集數(shù)據(jù),保證粒度可以以“single"狀態(tài)通過(guò)傳感器,從而實(shí)現(xiàn)高濃度樣本的檢測(cè)。

    系統(tǒng)可以根據(jù)稀釋倍數(shù)自動(dòng)計(jì)算給出原樣品顆粒濃度,解決了高濃度樣品的檢測(cè)難題,適合測(cè)試其他技術(shù)手段無(wú)法檢測(cè)高濃度樣本,更加適合測(cè)量樣品量稀少且珍貴的樣品。

    圖片10.png


    圖5 自動(dòng)稀釋原理圖

    5.在線監(jiān)測(cè)原理簡(jiǎn)圖

    圖片.png

  • 粒徑測(cè)量范圍(可選)

    0.5 – 400 μm

    0.15- 20 μm

    分析方法

    單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS

    精確度

    5%

    可用溶劑

    水相和有機(jī)相

    進(jìn)樣量(可選)

    0.5 mL, 1 mL, 2 mL 5 mL

    磁力攪拌器

    轉(zhuǎn)速可自由調(diào)控

    流速(稀釋系統(tǒng))

    60 – 180 mL/min 二步稀釋模塊

    分析軟件(可選)

    Windows 運(yùn)行環(huán)境,標(biāo)準(zhǔn)軟件或符合 21 CFR Part 11 規(guī)范分析軟件

    電壓

    220 – 240 VAC50Hz 100 – 120 VAC,60Hz

    外形尺寸

    50 cm *22 cm *92 cm;

    壓力需求

    30PSI-50PSI

    安裝條件

    稀釋流體供給系統(tǒng),廢液池


  • 傳感器

    LE400-05、LE400-1、LE1000-3、FX、FXnano

    注射泵

    1 mL 2.5 mL 5 mL


  • 乳劑

    乳劑是兩種互不相溶的液體經(jīng)乳化制成的非均勻分散體系,通常是水和油的混合物。乳劑有兩種類(lèi)型,一種是水分散在油中,另一種是油分散在水中。常見(jiàn)的乳劑制品有牛奶(水包油型)和黃油(油包水型),加工過(guò)程中它們均需均質(zhì)化處理到所需的粒徑大小以期延長(zhǎng)保質(zhì)期。

    化學(xué)機(jī)械拋光液(CMP SLURRY)

    化學(xué)機(jī)械拋光是半導(dǎo)體制造加工過(guò)程中的重要步驟。化學(xué)機(jī)械拋光液是由腐蝕性的化學(xué)組分和磨料(通常是氧化鋁、二氧化硅或氧化鈰)兩部分組成。拋光過(guò)程很大程度上取決于晶片表面構(gòu)型。晶片的加工誤差通常以埃計(jì),對(duì)晶片質(zhì)量至關(guān)重要。拋光液粒度越均勻、不聚集成膠則越有利于化學(xué)機(jī)械拋光加工過(guò)程的順利進(jìn)行。

    墨水

    隨著打印機(jī)技術(shù)的不斷發(fā)展,打印機(jī)用的墨水變得越來(lái)越重要。噴墨打印機(jī)墨水的粒度應(yīng)當(dāng)控制在一定的尺度以下,且分布均勻,大的顆粒易于堵塞打印頭并影響打印質(zhì)量。墨水是通過(guò)研磨方法制得的,可用粒度檢測(cè)分析儀器設(shè)備監(jiān)測(cè)其研磨加工過(guò)程,以保證墨水的顆粒粒度分布均勻,避免產(chǎn)生聚集的大顆粒。


  • 尊敬的用戶您好,在對(duì)儀器還不了解的情況下,為了讓您可以選擇一款適合貴單位的設(shè)備,可以先寄送樣品到我們公司,由我們的技術(shù)人員幫您測(cè)試樣品,并將測(cè)試結(jié)果和數(shù)據(jù)報(bào)告發(fā)送到您郵箱或者將紙質(zhì)版寄送到貴單位。

    下方鏈接是測(cè)試申請(qǐng)表,請(qǐng)下載填寫(xiě)完整后隨樣品一起寄送過(guò)來(lái)。

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