產(chǎn)品簡(jiǎn)介：全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)作為一種小型橢偏集成機(jī)臺(tái)，通過(guò)整體高度模塊化，電、氣路集成技術(shù)，實(shí)現(xiàn)不同橢偏測(cè)量模塊在線(xiàn)/離線(xiàn)式整體橢偏測(cè)量解決方案。全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究中各種各向同性，異性薄膜材料的膜厚、光學(xué)常數(shù)以及一維、二維納米光柵的結(jié)構(gòu)表征；工業(yè)領(lǐng)域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜（配向膜、光刻膠、ITO、發(fā)光薄膜、封裝薄膜）全片離線(xiàn)化快速掃描測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào)	全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)
主要特點(diǎn)	1、支持實(shí)驗(yàn)室研究整體橢偏集成控制測(cè)量技術(shù) 2、支持產(chǎn)線(xiàn)大基片離線(xiàn)自定義多點(diǎn)掃描測(cè)量并輸出報(bào)告 3、支持多橢偏方案，多組合集成 4、支持測(cè)頭模塊以及樣件機(jī)臺(tái)定制化
技術(shù)參數(shù)	自動(dòng)化程度	可變/固定角
	應(yīng)用定位	高階高精度型	高精度型
	單次測(cè)量時(shí)間	0.5-5s
	分析光譜	380-1000nm（支持?jǐn)U展至193-2500nm）
	Mapping行程	支持100x100mm行程擴(kuò)展
	支持樣件尺寸	支持200mm樣件

關(guān)鍵詞：光電器件

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全自動(dòng)橢偏檢測(cè)機(jī)臺(tái)

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