渦輪分子泵——真空泵中的
真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實(shí)上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10-11 mbar 的真空度。
的真空解決方案 滿足要求
普發(fā)真空擁有抽速介于10到2,700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性價(jià)比和靈活的安裝方式。經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類型的軸承可供選擇——一種是由前級(jí)真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復(fù)合軸承系統(tǒng)，另一種是主動(dòng)式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉(zhuǎn)子懸浮空中，無(wú)任何接觸或磨損。得益于精密的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體具有更高的壓縮比。
分子泵 Hipace® 10-800 l/s 技術(shù)參數(shù)
| 分子泵型號(hào) | 分子泵連接尺寸 DN | 抽速 l/s | 壓縮比 | 啟動(dòng)壓強(qiáng) hPa | 極限壓力 | 全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s | 啟動(dòng)時(shí)間 | 重量 |
| 進(jìn)氣口 | 排氣口 | 氮?dú)?/span>
N2 | 氦氣He | 氫氣 H2 | 氮?dú)?/span>
N2 | 氮?dú)?span>N2 | | 氮?dú)?span>N2 | min | kg |
| HiPace® 10 | 25 | 16 | 10 | 6 | 3.7 | 3X106 | 25 | < 5X10–5 | 0.37 | 0.9 | 1.8 |
| HiPace® 60 P | 63 | 16 | 64 | 48 | 28 | 1X106 | 4 | < 1X10–7 | 9.2 | 1.1 | 2.2 |
| HiPace® 80 | 63 | 16 | 67 | 58 | 48 | > 1X1011 | 22 | < 1X10–7 | 1.3 | 1.75 | 2.4 |
| HiPace® 300
HiPace® 300 C HiPace® 300 P HiPace® 300 Plus | 100 | 16 | 260 | 255 | 220 | > 1X1011 | 15(控制器TC 110)
20（控制器TC 400） | < 1X10–7 | 5（控制器TC 110）
14（控制器TC 400） | 3.5(TC 110)
1.8(TC 400) | 5.8 – 8.2 |
| HiPace® 400
HiPace® 400 P | 100 | 25 | 355 | 470 | 445 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.6 – 17.5 |
| HiPace® 700 HiPace® 700P HiPace® 700 Plus | 160 | 25 | 685 | 655 | 555 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.5 – 17.4 |
| HiPace® 800 HiPace® 800 P | 200 | 25 | 790 | 700 | 580 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 12.8 – 19.1 |
普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能
現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過(guò) 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動(dòng)能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動(dòng)能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃?。因此，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過(guò)理論和實(shí)際的雙重檢驗(yàn)。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過(guò)UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時(shí)也包括了防火和轉(zhuǎn)速過(guò)高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開(kāi)創(chuàng)的。
我們關(guān)注客戶利益的核心
在整個(gè)生產(chǎn)工藝過(guò)程中，真空技術(shù)往往是成敗的關(guān)鍵因素。在各類生產(chǎn)應(yīng)用中，因批量故障或生產(chǎn)中斷而造成的費(fèi)用損失甚至可以高達(dá)上百萬(wàn)元。因此采用性能穩(wěn)定可靠的部件顯得十分重要。如今，渦輪分子泵的工作時(shí)間已經(jīng)能達(dá)到 100,000 小時(shí)。這意味著產(chǎn)品能無(wú)間斷地運(yùn)行長(zhǎng)達(dá)11年的時(shí)間。在此期間，應(yīng)盡可能地避免因保養(yǎng)或服務(wù)導(dǎo)致的運(yùn)行中斷。普發(fā)真空渦輪分子泵具備擴(kuò)展的自診斷功能，能滿足該項(xiàng)需求。通過(guò)分析真空泵的相關(guān)技術(shù)數(shù)據(jù)，給維修保養(yǎng)工作帶來(lái)了極大的支持。因此，任何保養(yǎng)都可以提前進(jìn)行預(yù)測(cè)，用戶可以自主安排保養(yǎng)計(jì)劃。此外，真空泵油和軸承都可以在現(xiàn)場(chǎng)直接進(jìn)行更換，更大程度上保障了正常生產(chǎn)運(yùn)行。渦輪分子泵的集成控制器減少了對(duì)繁瑣、昂貴的布線需要。的驅(qū)動(dòng)技術(shù)將能源消耗降低到最少，同時(shí)還帶有多樣化的接口。真空泵具有IP54防護(hù)等級(jí)設(shè)計(jì)，符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求。緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能滿足更小的物理空間安裝需求。為將成本最小化，普發(fā)真空提供多樣化的控制器，供不同型號(hào)的泵使用。甚至泵體的重量也是重點(diǎn)考量的因素：抽速為 250 升/每秒的渦輪分子泵重量?jī)H為 6 kg。普發(fā)真空渦輪分子泵的應(yīng)用范圍廣闊，不僅包括分析儀器、真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括真空鍍膜、研發(fā)和其他各類工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域
在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對(duì)于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
● 分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）
● 半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽(yáng)能電池等）
● 光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）
● 真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）
● 真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）
● 泄漏檢測(cè)（真空系統(tǒng)、機(jī)車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）
● 科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）
● 燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）
會(huì)員1.png)
