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浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭、±0.1℃精度

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上海智與懋檢測(cè)儀器設(shè)備有限公司

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浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭、±0.1℃精度擁有四線制熱敏電阻溫度測(cè)量，用戶輸入溫度探頭參數(shù)，精確度可達(dá)±0.02℃?？晒┯脩舳伍_發(fā)。

詳細(xì)介紹

摘要

浸沒式光刻機(jī)是應(yīng)用于集成電路制造的關(guān)鍵設(shè)備，其浸沒系統(tǒng)的溫度是影響其性能指標(biāo)的關(guān)鍵因素之一。浸液溫度控制的性能主要由浸液系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與浸液系統(tǒng)的控制算法決定。提出了浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭控制溫度和調(diào)節(jié)冷卻水的流量控制溫度的穩(wěn)定性的溫控原理。與通過直接測(cè)溫方式控制浸液溫度的原理相比有效的利用了工廠的冷卻水系統(tǒng)，無需制冷加熱裝置，降低了用戶使用成本。且獲得更高的溫度穩(wěn)定性和抗ganrao力。

浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭介紹

智測(cè)在推出創(chuàng)新的可在現(xiàn)場(chǎng)使用的浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭之后，又成功開發(fā)了功能更多，使用更方便的浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭，將探頭的產(chǎn)品形成不同系列以滿足各種用戶的不同應(yīng)用。在幾乎沒有降低任何計(jì)量性能之上，將高性能延伸到了工業(yè)過程環(huán)境。在選裝了“過程"選件之后，現(xiàn)場(chǎng)計(jì)量時(shí)無需再攜帶任何其它工具，一臺(tái)現(xiàn)場(chǎng)浸沒式光學(xué)系統(tǒng)高精度溫度探頭足以應(yīng)付各種計(jì)量之需。這也就意味著將實(shí)驗(yàn)實(shí)全部搬到了現(xiàn)場(chǎng)。

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在所需的溫度范圍內(nèi)使用，它可方便的設(shè)置并精確產(chǎn)生所需的溫度。它體積小，加熱快速，溫控穩(wěn)定，無污染等特點(diǎn)，可將溫度傳感器與儀表進(jìn)行整體校驗(yàn)，因此它易于攜帶，使用方便，易于快速可靠地溫度校準(zhǔn)，廣泛應(yīng)用于機(jī)械，船舶，化工，食品，電力，藥品等行業(yè)。

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