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QT-600型氦離子化SF6分解產(chǎn)物檢測儀

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介QT-600型氦離子化SF6分解產(chǎn)物檢測儀,是我公司專為開關(guān)室SF6氣體組分分析而設(shè)計(jì)的,用以檢測SF6氣體各組分的含量以及SF6純度

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介

QT-600型氦離子化SF6分解產(chǎn)物檢測儀,是我公司專為開關(guān)室SF6氣體組分分析而設(shè)計(jì)的,用以檢測SF6氣體各組分的含量以及SF6純度。

該設(shè)備采用氦離子檢測器,適用于高純化氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。儀器配備Valco公司生產(chǎn)的高靈敏度氦離子化(PDHID)檢測器;采用中心切割與反吹技術(shù);進(jìn)樣閥采用的帶吹掃保護(hù)氣路的Valco六通或十通閥,以QT-600型氦離子化SF6分解產(chǎn)物檢測儀為載體,連同Valco公司的HP2-220氦氣純化器、專用氣體取樣閥等部件形成一套完整的高純氣體分析設(shè)備。


產(chǎn)品特點(diǎn)

采用氦離子化檢測器(PDHID),靈敏度高,可靠性好;

采用Valco公司HP2-220氦氣純化器;

專用分析色譜柱,針對性強(qiáng),效果穩(wěn)定可靠;

中心切割與反吹技術(shù)系統(tǒng);

多柱箱溫控分析系統(tǒng);

一鍵采樣控制,操作簡單方便;

氦氣(載氣)專用不銹鋼雙級(jí)減壓閥;

專用工作站軟件系統(tǒng),智能化程度高,易學(xué)易用。


檢測范圍

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氦離子化檢測器(PDHID)

氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)行業(yè),高純氣體和電子工業(yè)氣體被譽(yù)為工業(yè)生產(chǎn)的“血液"。隨著國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,特別是國內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,市場對高純氣體和電子工業(yè)用氣體的需求量也快速增長。

對微量雜質(zhì)進(jìn)行準(zhǔn)確的分析是生產(chǎn)上述氣體的關(guān)鍵環(huán)節(jié),而微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn),傳統(tǒng)的熱導(dǎo)檢測器由于靈敏度有限,很難檢測到5ppm以下的雜質(zhì)。而氧化鋯、火焰光度、電子捕獲等檢測器均為選擇性檢測器,僅對少數(shù)幾種雜質(zhì)有響應(yīng);氬離子檢測器也只能檢測氬氣中雜質(zhì)組份;以上檢測器都不是高純氣體的選擇。

脈沖放電氦離子化檢測器(PDHID)是一種靈敏度*的通用型檢測器,對幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),特別適合高純氣體的微量雜質(zhì)分析,是能夠檢測至ng/g(ppb)級(jí)的檢測器。大多數(shù)新制定的氣體產(chǎn)品的國家標(biāo)準(zhǔn)中都規(guī)定采用氦離子化檢測器代替原有的熱導(dǎo)檢測器,從而提高氣體的微量雜質(zhì)分析能力。


技術(shù)參數(shù)

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