3BSE078791R1 ABB

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設(shè)施保護(hù)系統(tǒng)對通信的高可靠性與實(shí)時(shí)性的要求，這些現(xiàn)場本地控制器不采用串行方式與設(shè)施保護(hù)系統(tǒng)通信，而使用0/24V開關(guān)信號(hào)直接受設(shè)施保護(hù)系統(tǒng)的控制。人機(jī)界面，則由美國費(fèi)舍爾-羅斯蒙特（Fisher-Rosemount）公司的RS3集散控制系統(tǒng)完成。該集散控制系統(tǒng)既是設(shè)施保護(hù)系統(tǒng)的人機(jī)界面，又是控制處理流程的生產(chǎn)控制系統(tǒng)。出于安全性方面的考慮，生產(chǎn)控制系統(tǒng)不對設(shè)施保護(hù)系統(tǒng)進(jìn)行任何控制，僅對設(shè)施保系統(tǒng)監(jiān)視。

Nichias Tombo MH3-008390-D

Novellus 15-271403-00

               AMAT 30601350000

M.E.C. Tech MEC83306-1060L

AMAT 3700-01594

M.E.C. Tech MEC83306-1060P

M.E.C. Tech MEC81105-205L

Mattson 2411931

AMAT 3690-01186

AMAT 3690-01186

AMAT 1230-01019

Advanced Energy AE 3150273-005

AMAT 0020-15990

AMAT 0090-09057

AMAT 0150-09667

AMAT 3700-01387

AMAT 1200-01283, Watlow DA1C-1624-C000

AMAT 3300-02279, 423083-TY-PR0J

Nanometrics 7301-022965

AMAT 0200-09602

AMAT 0140-21236

MKS Instruments 100991861

Disco AK-BX501

Entegris E6-6TFN-1X, M9P828145

AMAT 0010-14922

AMAT 0010-30230

Disco MOENT062, Abosrber. 417140

Disco MODMS535-A, Kurida OCS-241

AMAT 3870-04760 Rev.00

Omron E5AX-VAA, E5AX-VAAAC10002?00