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英國Edwards愛德華真空泵iXH645H干泵

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產(chǎn)品型號LED封裝

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更新時間：2022-08-17 21:08:44瀏覽次數(shù)：1638次

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愛德華Edwards真空泵

真空系統(tǒng)

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深圳市托理拆利機(jī)電設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

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所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：陳工（技術(shù)總監(jiān)）

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產(chǎn)品簡介

LED封裝工藝中，用到真空泵和空氣壓縮機(jī)，因為封裝工藝點粉灌膠水都要先抽真空，把氣泡排掉，所以要用真空泵；封裝的設(shè)備都是用氣壓驅(qū)動的，所以要用大匹的空壓機(jī)。

LED封裝真空應(yīng)用，大部分仍在按傳統(tǒng)的思路采用干式小旋片泵，或者采用真空發(fā)生器，耗費昂貴的壓縮空氣。

Edwards愛德華iXH645H干泵，新設(shè)備經(jīng)過優(yōu)化，適用于LED制造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊中使用III-V材料的化合物

詳細(xì)介紹

LED封裝真空泵Edwards愛德華真空泵半導(dǎo)體zhong央真空系統(tǒng)應(yīng)用介紹

深圳市托理拆利機(jī)電設(shè)備有限公司是英國Edwards愛德華真空泵shou權(quán)代理商，為客戶24小時提供技術(shù)支持及售后服務(wù)，針對各個行業(yè)工藝端設(shè)計提供適合的負(fù)壓真空系統(tǒng)解決方案，為半導(dǎo)體真空設(shè)備、光伏真空設(shè)備、鋰電池真空設(shè)備、實驗室高真空設(shè)備、工廠高真空設(shè)備、學(xué)校高真空設(shè)備提供優(yōu)化的真空解決方案。技術(shù)服務(wù)：138，237，883，80

LED封裝工藝中，用到真空泵和空氣壓縮機(jī)，因為封裝工藝點粉灌膠水都要先抽真空，把氣泡排掉，所以要用真空泵；封裝的設(shè)備都是用氣壓驅(qū)動的，所以要用大匹的空壓機(jī)。

LED封裝真空應(yīng)用，大部分仍在按傳統(tǒng)的思路采用干式小旋片泵，或者采用真空發(fā)生器，耗費昂貴的壓縮空氣。

Edwards愛德華iXH645H干泵，新設(shè)備經(jīng)過優(yōu)化，適用于LED制造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊中使用III-V材料的化合物半導(dǎo)體制造工藝。

iXH645H提供了高的氣流量，并能夠在LED制造設(shè)備所需的高負(fù)載下連續(xù)工作。iXH系列干泵采用的，大限度地減少維護(hù)需求，并實現(xiàn)正常運行時間大化，有助于降低成本。

LED和化合物半導(dǎo)體制造工藝通常使用大流量氕氣和高腐蝕性氨氣，具有出色的氫氣抽空性能并采用耐腐蝕設(shè)計，包括一個保護(hù)泵密封物的氮氣吹掃屏障。XH645泵具有高溫工作能力，有助于防止可能出現(xiàn)的磷化合物冷凝。另外，該泵的油潤滑和密封省去了定期保養(yǎng)需求，同時其散熱和電機(jī)設(shè)計可以防止出現(xiàn)過熱、電機(jī)過載或工作區(qū)域受限等問題。

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