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真空機械手SRBZ970C

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更新時間：2023-06-05 20:09:17瀏覽次數(shù)：427次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：23條

所在地區(qū)：遼寧沈陽市

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產(chǎn)品簡介

磁流體密封、網(wǎng)絡化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認證S2，F(xiàn)47，迎合個性化設計具有手臂長度、自由度可選，手指及接口用戶可定制的特征，耐高溫、耐腐蝕，動態(tài)糾偏和碰撞保護功能

詳細介紹

采用*的磁流體密封技術，具有噪音小、振動小、運行平穩(wěn)、精度高等特點。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護功能，有效保護機械手和客戶晶圓,減少用戶誤操作導致的各種損失。全新的軌跡規(guī)劃，提高運動節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能.帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用?？梢愿鶕?jù)客戶應用的特殊要求，定制手臂尺寸等。

參數(shù)：

型號		SRBZ970C
密封方式		磁流體密封
自由度數(shù)		2
負載	名稱	托盤
	直徑	Φ380mm
	重量	2kg
運動范圍	R軸（mm）	立柱中心至R軸伸展處被搬運物體中心距離920
	θ軸（°）	360
全行程最小時間	R軸（s）	2.5（Home to Extend 920mm）
	θ軸（s）	4.8 (180°)
重復定位精度	θ軸（°）	±0.01（3σ）
	R軸（mm）	±0.1（3σ）
重量	機械手本體	41kg
	控制器	15kg
耐真空度 (Pa)		＜5×10^-9 Torr
漏率		＜1×10^-9 std.cc/sec He
碰撞保護		盤片和機械手無損傷
行程		970mm
電源范圍電壓波動范圍		單相交流208V +10%，-15%