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大氣機(jī)械手Blade-SD210

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司

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所在地區(qū)：遼寧沈陽(yáng)市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高潔凈等級(jí)，高速傳片，碰撞保護(hù)，Mapping，SEMI認(rèn)證S2，F(xiàn)47，迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)手指及接口用戶可定制。

詳細(xì)介紹

耦合傳動(dòng)、伺服驅(qū)動(dòng)、潔凈傳動(dòng)及潤(rùn)滑、SCARA手臂結(jié)構(gòu)，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點(diǎn)。迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)，手指及接口用戶可定制，網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng)，高效率傳片和碰撞保護(hù)功能，SEMI認(rèn)證S2、F47，MCBF大于1000萬(wàn)次。負(fù)責(zé)完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動(dòng)傳送。是半導(dǎo)體行業(yè)的*之選擇。

參數(shù)：

結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure		柱坐標(biāo)型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
負(fù)載Payload	名稱name	晶圓wafer
	直徑diameter	2寸/4寸/6寸/8寸/12寸
	重量weight	≤0.5kg
自由度數(shù)DOF		5
手?jǐn)?shù)量Number of Arm		2
回轉(zhuǎn)直徑Maximum Swing diameter		580mm
運(yùn)動(dòng)范圍 Moving Range	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	450mm
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	270°
	伸展軸 (R) Extension(R)-Axis	R670mm
節(jié)拍 Swap time	升降軸 (Z軸) Up/Down( Z)-Axis	＜1s（Home to Fullextension）
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	0.7s/180°
	伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	1.2s/450mm
重復(fù)定位精度 Repeatability	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回轉(zhuǎn)軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	±0.006°(3σ)
	伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	±0.1 mm(3σ)
潔凈度Clean Class		CLASS 1
主機(jī)重量Body Weight		60 kg
電源Power Supply		208VAC(50Hz/60Hz)
行程		670mm