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真空潔凈機械手臂

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更新時間：2019-11-07 14:18:33瀏覽次數(shù)：726次

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北京銳潔機器人科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

真空潔凈機械手臂可以使用在高真空環(huán)境里，能夠在真空環(huán)境下完成晶圓或者托盤等的傳輸。和大氣潔凈機械手臂不同的地方在于需要使用真空密封裝置來實現(xiàn)運動機構(gòu)的動力傳輸。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機方式以及特種橡膠圈密封方式等。

詳細介紹

真空潔凈機械手臂可以使用在高真空環(huán)境里，能夠在真空環(huán)境下完成晶圓或者托盤等的傳輸。和大氣潔凈機械手臂不同的地方在于需要使用真空密封裝置來實現(xiàn)運動機構(gòu)的動力傳輸。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機方式以及特種橡膠圈密封方式等。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機方式以及特種橡膠圈密封方式等。這幾種方式中，磁流體密封裝置的應用較為廣泛，同時也被廣泛使用的特種橡膠圈密封裝置具有價格便宜，便于維護的優(yōu)點，而真空電機方式為的真空動力導入方式，具有潔凈度高，放氣量少的優(yōu)點。

真空潔凈機械手臂具有良好的性價比優(yōu)勢，做工精良，性能穩(wěn)定可靠，被廣泛應用于半導體，LED生產(chǎn)設備中的刻蝕設備，PVD設備以及CVD設備等。已經(jīng)成功進入了中國大陸市場，獲得了中國客戶的*認可。在半導體芯片生產(chǎn)設備上的實際應用案例。位于真空腔室的*，通過真空機械手臂自帶的安裝法蘭和真空腔室對接。真空機械手臂的安裝法蘭和真空腔室之間一般使用氟橡膠O型圈來實現(xiàn)真空密封，特殊的情況也可以使用金屬密封圈。金屬密封圈適用于高溫或者高真空環(huán)境，但是也會帶來安裝和維護方面的難度。