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4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂

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更新時(shí)間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：1058次

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂適用于液晶面板生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的玻璃基板搬運(yùn)
Z軸升降范圍超過760 mm以上的部分為多段式，能夠有效地降低搬運(yùn)高度

詳細(xì)介紹

4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂適用于液晶面板生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的玻璃基板搬運(yùn)
Z軸升降范圍超過760 mm以上的部分為多段式，能夠有效地降低搬運(yùn)高度

可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬運(yùn)，雙手臂結(jié)構(gòu)，玻璃基板搬運(yùn)效率更高

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：400 mm，500 mm
Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm（Z軸超過760 mm以上為多段式，實(shí)物和照片的外觀不同）
可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)15 kgf以下(400 mm，500 mm)
雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)玻璃基板
基板固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
手指可以安裝多種傳感器（校準(zhǔn)，有無，Mapping等）
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)的手指

4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

AOI設(shè)備；液晶工廠內(nèi)生產(chǎn)線

規(guī)格

被搬運(yùn)物*	730x920x1.1mm玻璃基板（具有代表性的標(biāo)準(zhǔn)尺寸）
	手臂	旋轉(zhuǎn)	升降
可動(dòng)范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)）	875 mm	330度	600 mm
搬運(yùn)速度 (平均速度)*	1375 mm/1.8sec	180度/1.8sec	600 mm/1.7sec
精度*	8.20µm以下	0.0008度	2.4 µm
搬運(yùn)高度*	271mm（法蘭安裝面到上手指的晶圓安裝面的高度）
重復(fù)性精度	±0.2mm以內(nèi)
潔凈度	0.3µm/cf Class10（驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣的條件下）
廠務(wù)	電源：3相AC200V±10% 3kVA 真空：優(yōu)于-73kPa