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2寸晶圓對應(yīng)校準(zhǔn)器（Aligner）

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更新時間：2019-11-07 14:18:32瀏覽次數(shù)：3694次

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

2寸晶圓對應(yīng)校準(zhǔn)器（Aligner）適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)。有利于傳輸模塊、真空傳輸腔室的小型化

詳細(xì)介紹

2寸晶圓對應(yīng)校準(zhǔn)器（Aligner）適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓位置的校準(zhǔn)。有利于傳輸模塊、真空傳輸腔室的小型化；

2寸晶圓對應(yīng)校準(zhǔn)器（Aligner）

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

檢測設(shè)備，PE-CVD設(shè)備，LED生產(chǎn)設(shè)備

規(guī)格

被搬運(yùn)物	2寸硅片晶圓
位置精度	晶圓中心：±0.3mm以內(nèi) 切邊定位范圍：±0.3度以內(nèi)
位置確定所需時間	定位晶圓中心：大體10 sec
傳感器	缺邊檢測Sensor
晶圓吸附方式	校準(zhǔn)時：通過氣缸驅(qū)動的邊緣夾持機(jī)構(gòu)固定晶圓缺邊檢測時：Spindle上的晶圓通過真空吸附方式固定
潔凈度	ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
動力	使用1臺2相步進(jìn)電機(jī)（電機(jī)驅(qū)動器內(nèi)置）
廠務(wù)	電源：DC24V±10% 2A 正壓：0.15～0.5 MPa（用處是握柄居中機(jī)構(gòu)）真空：優(yōu)于-70 kPa（切邊定位范圍）