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SORTER SYSTEM150 mm晶圓傳輸平臺

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更新時間：2019-11-07 14:18:31瀏覽次數(shù)：2897次

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北京銳潔機器人科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

SORTER SYSTEM150 mm晶圓傳輸平臺適用多種設備，通用性好，可根據(jù)客戶要求進行定制設計，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設計生產(chǎn)的高性能大氣機械手臂和校準器

詳細介紹

SORTER SYSTEM150 mm晶圓傳輸平臺適用多種設備，通用性好，可根據(jù)客戶要求進行定制設計，系統(tǒng)內(nèi)部使用了本公司設計生產(chǎn)的高性能大氣機械手臂和校準器

SORTER SYSTEM150 mm晶圓傳輸平臺

應用設備實例

PE-CVD設備

規(guī)格

<GCR4210-500-AM>
被搬運物	150 mm 晶圓（玻璃, 藍寶石, GaAs）
處理量	140片/h（不包括裝備的處理時間）
動作范圍	到達距離（被搬運物體中心）	旋轉(zhuǎn)角度（θ軸）	升降軸（Z軸）	翻轉(zhuǎn)軸
動作范圍	672mm	335度	500 mm	180度
搬運速度（平均速度）	機械臂	旋轉(zhuǎn)角度（θ軸）	升降軸（Z軸）
搬運速度（平均速度）	550 mm/秒	300度/秒	300 mm/秒
搬運速度（速度）	機械臂	旋轉(zhuǎn)角度（θ軸）	升降軸（Z軸）
搬運速度（速度）	900 mm/秒	400度/秒	450 mm/秒
不配備翻轉(zhuǎn)裝置真空吸引搬運	機械臂	旋轉(zhuǎn)角度（θ軸）	升降軸（Z軸）
不配備翻轉(zhuǎn)裝置真空吸引搬運	1800 mm/秒	540度/秒	500 mm/秒
反復偏差值	±0.1 mm以內(nèi)
<SAL3361GR>
位置精度	中心定位 ±0.2mm以內(nèi) 切邊定位 ±0.2度以內(nèi)
位置確定所需時間	槽口檢測 3秒以內(nèi) (不實行從新夾持動作)
位置補正范圍	半徑4mm以內(nèi)
<系統(tǒng)>
晶圓保持方式	真空吸引
清凈度	ISO標準 Class 2（驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下）
占用空間	640 mm×835 mm (不包括觸摸屏)
質(zhì)量	大約350 kg
廠務	電源：單相交流200V±10% 15A 真空：-53 kPa以上