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SSCR3115N3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂

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SSCR3115N3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備以及LED芯片生產(chǎn)設(shè)備等的小尺寸晶圓搬運(yùn)，通過(guò)優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化

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SSCR3115N3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備以及LED芯片生產(chǎn)設(shè)備等的小尺寸晶圓搬運(yùn)，通過(guò)優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化。安裝有Z軸的小型機(jī)械手臂，可用于100 mm以下尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過(guò)采用雙手指結(jié)構(gòu)顯著提高了晶圓搬運(yùn)效率。

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