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SSY-10000桌面裝載機(jī)系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2019-11-07 14:18:31瀏覽次數(shù)：628次

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SSY-10000桌面裝載機(jī)系統(tǒng)搬運(yùn)小尺寸晶圓的小型系統(tǒng)，可用于晶圓表面檢測(cè)，相對(duì)現(xiàn)有的手動(dòng)設(shè)備，晶圓自動(dòng)裝卸載系統(tǒng)能夠規(guī)避人工搬運(yùn)晶圓的各種風(fēng)險(xiǎn)，維持產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定，以及提高設(shè)備的生產(chǎn)效率

詳細(xì)介紹

SSY-10000桌面裝載機(jī)系統(tǒng)搬運(yùn)小尺寸晶圓的小型系統(tǒng)，可用于晶圓表面檢測(cè)，相對(duì)現(xiàn)有的手動(dòng)設(shè)備，晶圓自動(dòng)裝卸載系統(tǒng)能夠規(guī)避人工搬運(yùn)晶圓的各種風(fēng)險(xiǎn)，維持產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定，以及提高設(shè)備的生產(chǎn)效率；

SSY-10000桌面裝載機(jī)系統(tǒng)

能夠配套有的手動(dòng)設(shè)備使用，小型化的外形尺寸設(shè)計(jì)以及較低的設(shè)備傳片高度非常適合于在桌面上的使用
配備的Mapping傳感器能夠獲得片盒內(nèi)的晶圓信息，并通過超薄設(shè)計(jì)的手指取放片盒內(nèi)任意位置的晶圓
透明的保護(hù)蓋以及Door Lock裝置的使用，可以有效地保證使用者的安全

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

半導(dǎo)體生產(chǎn)線，實(shí)驗(yàn)室

規(guī)格

	真空：優(yōu)于-70kPa *30 L/min以上的排氣能力
對(duì)應(yīng)片盒	3寸晶圓Cassette
對(duì)應(yīng)晶圓	SEMI規(guī)格 3寸硅片
潔凈度	ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動(dòng)裝置內(nèi)部獨(dú)立排氣的條件下）
外形尺寸	W380xD500xH420
重量	35Kg
廠務(wù)	電源：100V 1KVA