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伯努利吸筆

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更新時(shí)間：2019-11-07 14:18:30瀏覽次數(shù)：1573次

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

伯努利吸筆利用伯努利原理能夠吸附減薄晶圓輕盈，小巧由于不屬于真空吸附，能夠降低晶圓破損的風(fēng)險(xiǎn)至低

詳細(xì)介紹

伯努利吸筆利用伯努利原理能夠吸附減薄晶圓輕盈，小巧由于不屬于真空吸附，能夠降低晶圓破損的風(fēng)險(xiǎn)至低，廣受設(shè)備廠商好評(píng)的產(chǎn)品，可吸附厚度80微米的減薄晶圓

伯努利吸筆

吸筆前端能夠自由活動(dòng)不但能夠應(yīng)對(duì)水平擺放的晶圓，還能夠從晶圓片盒，晶圓Cassette中取放晶圓片
同時(shí)還可以用于晶圓之外的各種物體的搬運(yùn)
利用旋風(fēng)效應(yīng)吸附晶圓,吸盤(pán)不需要和晶圓*接觸
和被吸附物接觸的吸盤(pán)墊片（材質(zhì)：氟橡膠）能夠緩沖吸附過(guò)程中的沖擊力，并且不需要夾持被吸附物的邊緣

前端吸盤(pán)模塊和本體之間使用了可調(diào)節(jié)的軟管結(jié)構(gòu)，作業(yè)員能夠任意地調(diào)節(jié)吸盤(pán)和本體之間的相對(duì)角度

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

半導(dǎo)體后道工序生產(chǎn)工廠

規(guī)格

被搬運(yùn)物	2, 3寸, 100～150 mm 可為客戶定制適用于200 mm，300 mm晶圓的產(chǎn)品
材質(zhì)	鋁合金（前端）
表面處理	旋風(fēng)吸盤(pán)：黑色陽(yáng)極氧化處理前端其他部分：白色陽(yáng)極氧化處理
晶圓吸附方式	利用旋風(fēng)吸盤(pán)提供吸力并利用氟橡膠材質(zhì)的墊片保持晶圓和吸盤(pán)之間的相對(duì)位置
允許搬運(yùn)重量	50 g以下
使用氣體	潔凈空氣，N2
供給壓力	0.3 MPa以下（吸筆本體的入口處）
氣體流量	大15 L/min
質(zhì)量	110 g