常用光交聯(lián)型光刻膠/光聚合型/光分解型三種類型

      西安齊岳生物主要業(yè)務(wù)面向國內(nèi)科研院所和高校、以及科技創(chuàng)中小企業(yè)，幫助客戶實現(xiàn)較度取得較量的科研和生產(chǎn)用耗材。公司目前經(jīng)營的產(chǎn)品有委托加工、設(shè)備、硅片、襯底、光刻膠、度試劑、凈耗材、貨源，響應(yīng)速度快，國內(nèi)外貨源充實。

          光刻膠是光刻成像的承載介質(zhì)，其作用是利用光化學(xué)反應(yīng)的原理將光刻系統(tǒng)中經(jīng)過衍射、濾波后的光信息轉(zhuǎn)化為化學(xué)能量，進(jìn)而完成掩模圖形的復(fù)制。目前，集成電路生產(chǎn)中使用的光刻膠一般由聚合物骨架、光致酸產(chǎn)生劑或光敏化合物、溶劑，以及顯影保護(hù)基團(tuán)、刻蝕保護(hù)基團(tuán)等其他輔助成分組成 。光刻膠是微電子中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一，是近年來大規(guī)模和大規(guī)模集成電路的發(fā)展，更是大大了光刻膠的研究研究和應(yīng)用。印刷工業(yè)是光刻膠應(yīng)用的另一重要領(lǐng)域。1954 年由明斯克等人研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯是用于印刷工業(yè)的，以后才用于電子工業(yè)。

      光刻膠是一種有機(jī)化合物，它被紫外光曝光后，在顯影溶液中的溶解度會發(fā)生變化。硅片制造中所用的光刻膠以液態(tài)涂在硅片表面，而后被干燥成膠膜。

 光刻膠的復(fù)雜，品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類。

光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠；反之，對某些溶劑是不可溶的，經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠 。利用這種性能，將光刻膠作涂層，能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形?；诟泄鈽渲幕瘜W(xué)結(jié)構(gòu)，光刻膠可以分為三種類型。

光聚合型 采用烯類單體，在光作用下生成自由基，自由基再進(jìn)一步引發(fā)單體聚合，生成聚合物，具有形成正像的特點。

光分解型 采用含有疊氮醌類化合物的材料，經(jīng)光照后,會發(fā)生光分解反應(yīng),由油溶性變?yōu)樗苄?，可以制成正性膠。

光交聯(lián)型 采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料，在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開，并使鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián)，形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而起到抗蝕作用，這是一種的負(fù)性光刻膠。

光刻膠材料制備壁壘高

光刻膠所屬的微電子化學(xué)品是電子行業(yè)與化工行業(yè)交叉的領(lǐng)域，是的密集行業(yè)。從事微電子化學(xué)品業(yè)務(wù)需要具備與電子產(chǎn)業(yè)前沿發(fā)展相匹配的關(guān)鍵生產(chǎn)，如混配、分離、純化以及與生產(chǎn)過程相配套的分析檢驗、環(huán)境處理與監(jiān)測等。同時，下游電子產(chǎn)業(yè)多樣化的使用場景要求微電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)有較強(qiáng)的配套能力，以及時和改進(jìn)產(chǎn)品工藝來滿足客戶的需求。

光刻膠的生產(chǎn)工藝主要過程是將感光材料、樹脂、溶劑等主要原料在恒溫恒濕 1000 級的黃光區(qū)潔凈房進(jìn)行混合，在氮氣氣體保護(hù)下充分?jǐn)嚢?，使其充分混合形成均相液體，經(jīng)過多次過濾，并通過中間過程控制和檢驗，使其工藝和質(zhì)量要求，后做產(chǎn)品檢驗，合格后在氮氣氣體保護(hù)下包裝、打標(biāo)、入庫。

光刻膠的生產(chǎn)工藝簡要流程

光刻膠的壁壘包括配方，質(zhì)量控制和原材料。配方是光刻膠實現(xiàn)功能的，質(zhì)量控制能夠光刻膠性能的穩(wěn)定性而的原材料則是光刻膠性能的基礎(chǔ)。

配方：由于光刻膠的下游用戶是IC芯片和FPD面板制造商，不同的客戶會有不同的應(yīng)用需求，同一個客戶也有不同的光刻應(yīng)用需求。一般一塊半導(dǎo)體芯片在制造過程中需要進(jìn)行10-50道光刻過程，由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等，不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣，即使類似的光刻過程，不同的廠商也會有不同的要求。針對以上不同的應(yīng)用需求，光刻膠的品種多，這些差異主要通過調(diào)整光刻膠的配方來實現(xiàn)。因此，通過調(diào)整光刻膠的配方，滿足差異化的應(yīng)用需求，是光刻膠制造商的。

質(zhì)量控制：由于用戶對光刻膠的穩(wěn)定性、一致性要求高，包括不同批次間的一致性，通常希望對感光靈敏度、膜厚的一致性保持在較高水平，因此，光刻膠生產(chǎn)商不要配臵的測試儀器，還需要建立一套嚴(yán)格的QA體系以產(chǎn)品的。

原材料：光刻膠是一種經(jīng)過嚴(yán)格設(shè)計的復(fù)雜、的配方產(chǎn)品，由成膜劑、光敏劑、溶劑和添加劑等不同-性質(zhì)的原料，通過不同的排列組合，經(jīng)過復(fù)雜、的加工工藝而制成。因此，光刻膠原材料的品質(zhì)對光刻膠的質(zhì)量起著關(guān)鍵作用。對于半導(dǎo)體化學(xué)化學(xué)試劑的純度，際半導(dǎo)體設(shè)備和材料（SEMI）制定了統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品供應(yīng)：

產(chǎn)品名稱 cas

1-丙烯酸金剛烷酯 121601-93-2

1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8

丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3

4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2

1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯 216581-76-9

2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 249562-06-9

2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯 303186-14-3

1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9

2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環(huán)戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7

甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ 34759-34-7

2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯 297156-50-4

2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 251564-67-7

gamma-丁內(nèi)酯-3-基異丁烯酸酯 130224-95-2

N-異丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6

(9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1

(5-氧代四氫-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9

1-乙基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1

1-異丙基-1-環(huán)己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4

2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯 31480-93-0

n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5

2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5

甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9

2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1

2-乙烯基萘 827-54-3

2-環(huán)己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8

2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯 195000-66-9

丙烯酸甲基環(huán)戊酯 178889-49-1

丙烯酸1-乙基環(huán)戊酯 326925-69-3

2-氧代四氫-呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2

4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9

4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0

甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3

3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7

acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0

1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0

1-甲基環(huán)己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8

2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7

2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8

1-甲基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7

1-乙基環(huán)己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8

4-異丙基苯酚 4286-23-1

(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5

乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1

2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2

1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6

甲基丙烯酸四氫-呋喃-2-基酯 15895-80-4

oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0

6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7

3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1

2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8

2,3-二羥基丙烯酸丙酯 10095-20-2

2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環(huán)氧乙烷 2653-39-6

3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3

2-(2,2-二氟乙烯基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷 123455-94-7

二苯基酰氯 1483-72-3

雙［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］鎓與三氟甲磺酸的鹽 84563-54-2

全氟丁基磺酸三苯基锍鹽 144317-44-2

雙(4-叔丁基苯基)氯鎓 5421-53-4

TBPDPS-PFBS 258872-05-8

1二(4-叔丁基苯基)鎓全氟代丁烷磺酸鹽 194999-85-4

(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0

N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 85342-62-7

六氟二酐（6FDA) 1107-00-2

9,9-雙(3-氟-4-氨基苯基)芴 (FFDA) 127926-65-2

9,9-雙(4-氨基苯基)芴 （FDA) 15499-84-0

4,4’-二氨基-2,2’-二甲基聯(lián)苯 (M-Tolidine) 84-67-3

2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基) 六氟丙烷 83558-87-6

1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯 (APB) 10526-07-5

4,4'-雙(4-氨苯氧基)聯(lián)苯(BAPB) 13080-85-8

1,3-雙(4-氨苯氧基)苯 2479-46-1

4,4-二氨基聯(lián)苯-2,2-二羧酸 17557-76-5

2,2'-雙(三氟甲基)-4,4'-二氨基苯基醚 344-48-9

ODA 4,4'-二氨基二苯醚 101-80-4

BAPP 2,2'-雙[4-(4-氨基苯氧基苯基)]丙烷 13080-86-9

TPE-Q 1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯 3491/12/1

BPADA 雙酚A型二醚二酐 38103-06-9

BTDA 3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐 2421-28-5

BPDA 3,3',4,4'-聯(lián)苯四羧酸二酐 2420-87-3

CBDA 環(huán)丁烷四甲酸二酐 4415-87-6

DABA 3,5-二氨基苯甲酸 535-87-5

TFMB 2,2'-雙(三氟甲基)二氨基聯(lián)苯 341-58-2

A-BPDA 2,3,3',4'-聯(lián)苯四甲酸二酐 36978-41-3

BOAFL 9,9-二[(2,3-環(huán)氧丙氧基)苯基]芴 47758-37-2

TCA 四氫-1H-5,9-甲烷吡喃并[3,4-d]噁英-1,3,6,8(4H)-四酮 6053-46-9

ODPA 4,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 1823-59-2

A-ODPA 3,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 50662-95-8

HFBAPP 2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 69563-88-8

4-溴-N-苯基咔唑 1097884-37-1

3,6-二溴-9-(2-乙基己基)-9h-咔唑 173063-52-0

N-(2-萘基)-3-溴咔唑 934545-80-9

1-溴-N-苯基咔唑 1333002-37-1

3,6-二叔丁基咔唑 37500-95-1

3,6-二溴咔唑 6825-20-3

1-溴咔唑 16807-11-7

2-溴咔唑 3652-90-2

2-氯咔唑 10537-08-3

2-羥基咔唑 86-79-3

3-溴咔唑 1592-95-6

3,6-二苯基-9H-咔唑 56525-79-2

4-溴-9H-咔唑 3652-89-9

3-苯基-9H-咔唑 103012-26-6

11,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-a]咔唑 1329054-41-2

9-(4-溴苯基)咔唑 57102-42-8

10-溴-7H-苯并[c]咔唑 1698-16-4

9-(3-溴苯基)-9H-咔唑 185112-61-2

9-(2-溴苯基)-9H-咔唑 902518-11-0

3-溴-N-苯基咔唑 1153-85-1

3,6-二溴-9-苯基咔唑 57103-20-5

3--9-苯基咔唑 502161-03-7

9-(1-萘基)-3-溴咔唑 934545-83-2

3-(4-溴苯基)-9-苯基-9H-咔唑 1028647-93-9

2-溴-9-苯基-9H-咔唑 94994-62-4

2-(2-氯-苯基)-1H-苯并咪唑 3574-96-7

3,3'-聯(lián)咔唑 1984-49-2

3,9'-聯(lián)咔唑 18628-07-4

吲哚并[3,2-b]咔唑 241-55-4

吲哚并[3,2-b]咔唑 6336-32-9

5,11-二氫-11,11-二甲基茚并[1,2-b]咔唑 1260228-95-2

5,7-二氫-7,7-二甲基-茚并[2,1-b]咔唑 1257220-47-5

9-(4'-溴聯(lián)苯-4-基)-9H-咔唑 212385-73-4

4,4'-二(9-咔唑)聯(lián)苯 58328-31-7

5,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-c]咔唑 1346645-54-2

5,7-二氫-吲哚并[2,3-b]咔唑 111296-90-3

吲哚并[2,3-a]咔唑 60511-85-5

9H-咔唑-3-硼酸頻哪醇酯 855738-89-5

9-(4-苯基苯基)咔唑 6299-16-7

14H-苯并[c]苯并[4,5]噻吩并[2,3-a]咔唑 1313395-18-4

9-(2-萘基)-3,6-二溴咔唑 1221237-83-7

2,7-二溴咔唑 36630-39-2

2-苯基-9H-咔唑 88590-00-5

咔唑 86-74-8

9H-咔唑-3,6-二甲腈 57103-03-4

3,6-二咔唑 57103-02-3

3-氰基咔唑 57102-93-9

9,9'-二([1,1'-聯(lián)苯]-4-基)-3,3'-聯(lián)-9H-咔唑 57102-51-9

3-氯咔唑 2732-25-4

N-(3-聯(lián)苯基)-N-(4-聯(lián)苯基)-3,3-雙咔唑 1643479-47-3

5,7-二氫-5-苯基吲哚[2,3-b]咔唑 1448296-00-1

9'-苯基-9H,9H'-3,3'-咔唑 1060735-14-9

3,6-二乙氧基咔唑 1707264-12-7

9-苯基-9H,9H-3,3-咔唑 10607435-14-9

9-乙烯卡唑 1484-13-5

4-硼酸三苯胺 201802-67-7

二苯并噻吩-4-硼酸 108847-20-7

(3,5-二苯基苯)硼酸 128388-54-5

3-溴苯硼酸 89598-96-9

苯硼酸 98-80-6

2-硝基苯基硼酸 5570-19-4

2-氟苯硼酸 1993/3/9

4-甲苯硼酸 5720/5/8

2,4-二氟苯硼酸 144025-03-6

4-氟苯硼酸 1765-93-1

2-氯-苯基硼酸 3900-89-8

3-氯苯硼酸 63503-60-6

2-聯(lián)苯硼酸 4688-76-0

3-聯(lián)苯硼酸 5122-95-2

4-聯(lián)苯硼酸 5122-94-1

1-萘硼酸 13922-41-3

2-萘硼酸 32316-92-0

9-蒽硼酸 100622-34-2

熒蒽-3-硼酸 359012-63-8

9-菲硼酸 68572-87-2

4-(1-萘基)苯硼酸 870774-25-7

4-(2-萘基)苯硼酸 918655-03-5

苯并菲-2-硼酸 654664-63-8

1-芘硼酸 164461-18-1

(10-苯基蒽-9-基)硼酸 334658-75-2

[10-(1-萘基)-9-蒽]硼酸 400607-46-7

B-(10-[1,1'-聯(lián)苯]-4-基-9-蒽基)硼酸 400607-47-8

9,9-二甲基芴-2-硼酸 333432-28-3

9,10-雙(2-萘基)蒽-2-硼酸 867044-28-8

10-(2-萘基)蒽-9-硼酸 597554-03-5

9,9-二甲基-2,7-芴二硼酸 866100-14-3

B-9,9'-螺二芴-2'-基硼酸 236389-21-2

B-[3-(4-二苯并噻吩基)苯基]硼酸 1307859-67-1

B,B'-2,8-二苯并呋喃二基二硼酸 1222008-13-0

吡啶-3-硼酸 1692-25-7

喹啉-3-硼酸 191162-39-7

喹啉-8-硼酸 86-58-8

9H-咔唑-1-基硼酸 869642-36-4

二苯并噻吩-2,8-二硼酸 761405-37-2

9-苯基咔唑-2-硼酸 1001911-63-2

(9-苯基-9H-咔唑-3-基)硼酸 854952-58-2

4-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸 419536-33-7

3-(9H-咔唑-9-基)苯硼酸 864377-33-3

B-[2-(9H-咔唑-9-基)苯基]硼酸 1189047-28-6

二苯并呋喃-4-硼酸 100124-06-9

B-2-二苯并噻吩基硼酸 668983-97-9

聯(lián)硼酸新戊二醇酯 201733-56-4

聯(lián)硼酸頻那醇酯 73183-34-3

二苯并噻吩-2,8-二硼酸 761405-37-2

4-溴苯硼酸 5467-74-3

4-氯苯硼酸 1679-18-1

硼酸三異丙酯 5419-55-6

3-(2-三亞苯基苯硼酸)頻哪醇酯 1115639-92-3

3-甲氧基-2-萘硼酸 104115-76-6

Benzofuran-2-boronic acid CAS 98437-24-2

2,4-Dichlorophenylboronic acid CAS 68716-47-2

[3-(3-Pyridinyl)phenyl]boronic acid CAS 351422-72-5

9-(3-bromophenyl)-9-phenyl-9H-fluorene 1257251-75-4

B-[4-(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯基]-硼酸 952514-79-3

[4-(2-苯基-1H-苯并咪唑-1-基)苯基]硼酸 867044-33-5

四氟硼酸銀 14104-20-2

三亞苯-2-基)硼酸頻哪醇酯 890042-13-4

9,9-螺二芴-2-硼酸頻哪醇酯 884336-44-1

3-氟-2-甲酰基苯硼酸 871126-15-7

5-氯-2-甲?；脚鹚?/font> 870238-36-1

B-(10-[1,1'-聯(lián)苯]-2-基-9-蒽基)硼酸 400607-48-9

4-（3-吡啶基)苯硼酸 170230-28-1

2-氯-4-(聯(lián)苯-3-基)-6-苯基-1,3,5-三嗪 1689576-03-1

4-硼酸三苯胺 201802-67-7

9-菲硼酸新戊二醇酯 1416371-19-1

3,5-二甲基苯硼酸 172975-69-8

二苯并[b,d]呋喃-3-硼酸 395087-89-5

本公司產(chǎn)品用于科研，不用于人體。

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