肉不停h共妻h山中猎户h,精品无码一区二区三区爱欲,激情综合色综合啪啪五月丁香搜索,欲色av无码一区二区人妻

移動(dòng)版

當(dāng)前位置:智慧城市網(wǎng)資訊中心企業(yè)關(guān)注

新發(fā)產(chǎn)品更多
感知“利”器:改進(jìn)型光學(xué)讀出紅外探測(cè)器
2017年10月09日 09:39:28來(lái)源:麥姆斯咨詢點(diǎn)擊量:37327
導(dǎo)讀光學(xué)讀出紅外探測(cè)器的像素結(jié)構(gòu)一般包括:錨、支撐梁(包括雙材料梁和隔熱梁)和可動(dòng)微鏡。錨站立于襯底之上,可動(dòng)微鏡通過(guò)支撐梁與錨相聯(lián)接,并懸浮于襯底之上。
  【中國(guó)安防展覽網(wǎng) 企業(yè)關(guān)注】 在目前的方案中,可見(jiàn)光反射層通常直接沉積在紅外吸收層之上,一方面由于雙材料效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致可動(dòng)微鏡形變,導(dǎo)致器件靈敏度下降;另一方面,可見(jiàn)光反射層面積占整個(gè)像素面積的比例較小,像素間無(wú)讀出信號(hào)的空間較大,像素可見(jiàn)光利用率低。
 
  光學(xué)讀出紅外探測(cè)器的像素結(jié)構(gòu)一般包括:錨、支撐梁(包括雙材料梁和隔熱梁)和可動(dòng)微鏡。錨站立于襯底之上,可動(dòng)微鏡通過(guò)支撐梁與錨相聯(lián)接,并懸浮于襯底之上。雙材料梁一般由兩種熱膨脹系數(shù)相差較大的材料構(gòu)成,如由金屬材料和介質(zhì)材料構(gòu)成;隔熱梁由熱導(dǎo)系數(shù)較小的材料構(gòu)成;可動(dòng)微鏡部分一般包括可見(jiàn)光反射層和紅外吸收層。
 
  目前的光學(xué)讀出紅外探測(cè)器,一般基于硅襯底進(jìn)行器件結(jié)構(gòu)和工藝設(shè)計(jì),其制作方法可以分為兩類:
 
圖1 基于表面微機(jī)械加工技術(shù)制作的光學(xué)讀出紅外探測(cè)器
 
  一類是采用表面微機(jī)械加工技術(shù)制作(如圖1所示),以硅為襯底,以氧化硅、磷硅玻璃、多晶硅為犧牲層,一般采用濕法腐蝕釋放像素結(jié)構(gòu)。由于不需要去除襯底硅,器件的機(jī)械強(qiáng)度好,像素之間沒(méi)有熱串?dāng)_;由于犧牲層厚度只有幾微米,采用這種方法制作的光學(xué)讀出紅外探測(cè)器陣列釋放后的像素很容易和硅襯底發(fā)生粘連,另外紅外輻射需要透過(guò)硅襯底才能入射到像素結(jié)構(gòu)中的紅外吸收層上,而硅在8-14μm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的紅外透過(guò)率大約為50%左右,也就是說(shuō)這類器件的紅外輻射利用率一般在50%左右。
 
圖2 基于體硅微機(jī)械工藝制作的光學(xué)讀出紅外探測(cè)器
 
  另一類是采用體硅微機(jī)械工藝制作(如圖2所示),一般采用深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)方法去除像素下方的硅襯底釋放像素陣列,紅外輻射能無(wú)遮擋地入射到像素結(jié)構(gòu)中的紅外吸收層上,大幅提高了紅外輻射的利用率;由于像素結(jié)構(gòu)下的硅襯底被去除,避免了像素和襯底的粘連;但是深反應(yīng)離子刻蝕過(guò)程中高能粒子的轟擊會(huì)對(duì)像素結(jié)構(gòu)帶來(lái)一定程度的損傷,去除像素下方的硅襯底會(huì)造成器件的機(jī)械強(qiáng)度下降;另外如果像素下方的硅襯底被全部去除時(shí),像素之間會(huì)有嚴(yán)重的熱串?dāng)_。
 
  在目前的方案中,可見(jiàn)光反射層通常直接沉積在紅外吸收層之上,一方面由于雙材料效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致可動(dòng)微鏡形變,導(dǎo)致器件靈敏度下降;另一方面,可見(jiàn)光反射層面積占整個(gè)像素面積的比例較小,像素間無(wú)讀出信號(hào)的空間較大,像素可見(jiàn)光利用率低。
 
  因此,目前的制作方法,還不能同時(shí)滿足光學(xué)讀出紅外探測(cè)器對(duì)器件機(jī)械強(qiáng)度、熱串?dāng)_、像素的無(wú)損釋放、紅外輻射利用率、可動(dòng)微鏡平整度和可見(jiàn)光利用率等方面的要求。
關(guān)鍵詞 紅外探測(cè)器傳感器光學(xué)
相關(guān)閱讀更多
版權(quán)與免責(zé)聲明:

凡本網(wǎng)注明“來(lái)源:智慧城市網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-智慧城市網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來(lái)源:智慧城市網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。

本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來(lái)源(非智慧城市網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。

如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

正在閱讀:感知“利”器:改進(jìn)型光學(xué)讀出紅外探測(cè)器
我要投稿
  • 投稿請(qǐng)發(fā)送郵件至:(郵件標(biāo)題請(qǐng)備注“投稿”)afzhan@foxmail.com
  • 聯(lián)系電話0571-87756384
智慧城市行業(yè)“互聯(lián)網(wǎng)+”服務(wù)平臺(tái)
智慧城市網(wǎng)APP

功能豐富 實(shí)時(shí)交流

智慧城市網(wǎng)小程序

訂閱獲取更多服務(wù)

微信公眾號(hào)

關(guān)注我們

抖音

智慧城市網(wǎng)

抖音號(hào):afzhan

打開(kāi)抖音 搜索頁(yè)掃一掃
i

視頻號(hào)

AF智慧城市網(wǎng)

視頻號(hào)ID:sphF7DOyrojJnp8

打開(kāi)微信掃碼關(guān)注視頻號(hào)

小紅書(shū)

智慧城市

小紅書(shū)ID:2537047074

打開(kāi)小紅書(shū) 掃一掃關(guān)注
反饋
韩国高清大片免费观看在线| 人色偷偷色av噜噜狠狠99| 12末发育娇小性色xxxx| 午夜精品久久久久久毛片| 97夜夜澡人人双人人人喊| 久久中文字幕人妻熟av女| 久久久不卡国产精品一区二区| 天堂AV无码一区二区三区| 爱唯侦察| 久久精品国产色蜜蜜麻豆国语版| 亚洲A∨无码男人的天堂| 久久日产一线二线三线| 无码国内精品久久综合88| 午夜AV亚洲AV欧美AV| 少妇啊灬啊灬用力啊快小熊| 秀婷程仪公欲息肉婷小说| 亚洲av综合av一区二区三区| 男男作爱gay69www视频| 欧美 大陆 偷拍 精品| 性高朝久久久久久久3小时| 国产精品打着电话偷着情| 在线观看电影| 人妻少妇精品中文字幕av| 在线看免费观看日本av| 爆乳邻居肉欲中文字幕樱花动漫| 国产精品亚洲成在人线| 国产成年无码av片在线| 人妻少妇啊灬啊灬用力啊快| 日本的AAA高清片| 毛很浓密超多黑毛| 中文字幕有码无码人妻AV蜜桃| 在线看片国产日韩欧美亚洲| 好大好硬好爽18禁视频免费| 亚洲A∨无码精品色午夜| av无码久久久久不卡蜜桃| 亚洲av无码一区二区三区天堂| 欧美寡妇性猛交xxx| 一本加勒比hezyo无码资源网| 中国老太卖婬hd播放| 亚洲国产精品尤物yw在线观看| 大肉大捧一进一出的视频|