晶圓預(yù)對準(zhǔn)是晶圓搬運以及整個IC制造過程中的重要環(huán)節(jié),晶圓的定位與識別都需要Pre-aligner的參與。晶圓預(yù)對準(zhǔn)的目的是計算晶圓的偏心并找到其缺口,進而補償其偏心并將缺口轉(zhuǎn)至一預(yù)設(shè)方向,為下一步的晶圓識別或處理做好準(zhǔn)備。新松Pre-Aligner具有定位精高、對準(zhǔn)速度快等優(yōu)點,大大縮短了晶圓的傳輸與處理時間,提高了晶圓的生產(chǎn)效率。
更多詳情,請單擊新松潔凈產(chǎn)品資料庫